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Mathematical model of spin-coated photoresist on a spherical substrate 期刊论文
Optics Express, 2005, 卷号: 13, 期号: 18, 页码: 7070-7075
作者:  Feng X. G.;  Sun L. C.
Adobe PDF(90Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/89  |  提交时间：2012/10/21