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扫描镜设计与精度分析 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1062-1068
作者:  汪逸群;  颜昌翔;  贾平
caj(1005Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/142  |  提交时间：2013/03/11
扫描镜  运动补偿  速度精度  谐波减速器  步进电机