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一种薄膜晶体管开关器件的制作方法 （发明） 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1230791, 申请日期: 1999-10-06, 公开日期: 2012-09-14
发明人:  刘洪武;  杨柏梁;  王刚;  朱永福;  黄锡珉;  马凯
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