Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种薄膜晶体管开关器件的制作方法 （发明） | |
| 刘洪武; 杨柏梁; 王刚; 朱永福; 黄锡珉; 马凯 | |
| 1999-10-06 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明公开了一种有源液晶显示器的薄膜晶体管开关器件制作方法。在氢化非晶硅（ａ－Ｓｉ：Ｈ）有源层上用光刻方法制作一绝缘介质层，绝缘介质层为倒梯形结构和矩形结构，上边长等于栅电极宽度，也可以小于栅电极宽度，高度大于１．５倍的源、漏电极的厚度。 |
| 申请日期 | 1998-03-26 |
| 专利号 | 1230791 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 98106749.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12688 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洪武,杨柏梁,王刚,等. 一种薄膜晶体管开关器件的制作方法 （发明）. 1230791[P]. 1999-10-06. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199900123079100000（138KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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