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Surface topography measurement of microstructures near the lateral resolution limit via coherence scanning interferometry 期刊论文
Optics and Lasers in Engineering, 2022, 卷号: 152, 页码: 10
作者:  Y. F. Sun;  Z. S. Gao;  J. Q. Ma;  J. T. Zhou;  P. F. Xie;  L. J. Wang;  L. H. Lei;  Y. X. Fu;  Z. Y. Guo and Q. Yuan
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Hybrid self-calibration method for reference surface elimination in subaperture stitching interferometry 期刊论文
Optics Communications, 2022, 卷号: 517, 页码: 9
作者:  W. J. Liu;  Z. S. Gao;  R. Y. Wang;  X. Y. Che;  L. J. Wang;  L. H. Lei;  Z. Y. Guo and Q. Yuan
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