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用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台 期刊论文
电子测试, 2013, 期号: 09, 页码: 255-257
作者:  刘世界;  尼启良;  陈波;  何玲平;  王海峰
caj(1154Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/91  |  提交时间：2014/03/07
极紫外  多层膜  反射率测量  
桅杆型光电探测系统总体精度分析 期刊论文
兵工学报, 2013, 期号: 04, 页码: 507-512
作者:  陈兆兵;  王兵;  陈宁;  时魁;  刘长顺
caj(339Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/122  |  提交时间：2014/03/07
机械设计  光电探测  光电桅杆  精度分析  误差分配  
用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 03, 页码: 302-306
作者:  刘敏时;  王晓曼;  景文博;  王斌
caj(375Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/144  |  提交时间：2014/03/07
传感器  夏克-哈特曼波前传感器  激光光束质量  微透镜阵列设计