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Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
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adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Experimental investigation in nodal aberration theory (NAT) with a customized Ritchey-Chretien system third-order coma 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 8729-8743
作者:  Zhao, N.;  Papa, J. C.;  Fuerschbach, K.;  Qiao, Y. F.;  Thompson, K. P.;  Rolland, J. P.
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5th-order optical aberrations  rotational symmetry  surfaces  Optics