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Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma 期刊论文
Journal of Applied Physics, 2022, 卷号: 131, 期号: 23, 页码: 9
作者:  Q. J. Mao;  X. P. Gong;  Q. P. Lu;  Y. Song;  D. Z. Wang;  Y. Bai and T. Y. Ma
浏览  |  Adobe PDF(2183Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：78/30  |  提交时间：2023/06/14