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薄膜应力对薄膜测量和使用的影响 期刊论文
光电子·激光, 2005, 期号: 05, 页码: 579-583
作者:  王成;  马莹;  张贵彦;  肖孟超;  钱龙生
caj(153Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/60  |  提交时间：2013/03/11
光学  薄膜  应力  光谱