Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响 | |
| 王成; 马莹; 张贵彦; 肖孟超; 钱龙生 | |
| 2005-05-15 | |
| 发表期刊 | 光电子·激光
 |
| 期号 | 05页码:579-583 |
| 关键词 | 光学 薄膜 应力 光谱 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28685 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响[J]. 光电子·激光,2005(05):579-583. |
| APA | 王成,马莹,张贵彦,肖孟超,&钱龙生.(2005).薄膜应力对薄膜测量和使用的影响.光电子·激光(05),579-583. |
| MLA | 王成,et al."薄膜应力对薄膜测量和使用的影响".光电子·激光 .05(2005):579-583. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响.caj（153KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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