CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
薄膜应力对薄膜测量和使用的影响
王成; 马莹; 张贵彦; 肖孟超; 钱龙生
2005-05-15
发表期刊光电子·激光
期号05页码:579-583
关键词光学 薄膜 应力 光谱
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28685
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响[J]. 光电子·激光,2005(05):579-583.
APA 王成,马莹,张贵彦,肖孟超,&钱龙生.(2005).薄膜应力对薄膜测量和使用的影响.光电子·激光(05),579-583.
MLA 王成,et al."薄膜应力对薄膜测量和使用的影响".光电子·激光 .05(2005):579-583.
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