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氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜 期刊论文
发光学报, 2003, 期号: 03, 页码: 284-288
作者:  汤庆鑫;  路丽霞;  齐秀英;  钟殿强;  初国强;  刘益春
caj(62Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/66  |  提交时间：2013/03/11
等离子辅助  电子束蒸发  光致发光  热氧化