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大型衍射光栅刻划机控制系统研究 期刊论文
中国科学技术大学学报, 2011, 期号: 06, 页码: 560-564
作者:  刘栋材;  申远;  钟俊;  齐向东;  于海利;  竺长安
caj(1562Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/95  |  提交时间：2013/03/11
高精度光栅  机械结构  控制系统  定制负荷