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Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征 期刊论文
吉林大学自然科学学报, 1998, 期号: 04, 页码: 54-56
作者:  李文明;  王煜明;  吕俊霞
caj(62Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/81  |  提交时间：2013/03/11
多层膜  X射线衍射线形分析  晶粒尺寸  位错密度