Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征 | |
李文明; 王煜明; 吕俊霞 | |
1998-11-15 | |
发表期刊 | 吉林大学自然科学学报 |
期号 | 04页码:54-56 |
关键词 | 多层膜 X射线衍射线形分析 晶粒尺寸 位错密度 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30850 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文明,王煜明,吕俊霞. Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征[J]. 吉林大学自然科学学报,1998(04):54-56. |
APA | 李文明,王煜明,&吕俊霞.(1998).Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征.吉林大学自然科学学报(04),54-56. |
MLA | 李文明,et al."Mo/Si多层膜的制备及X射线衍射表征".吉林大学自然科学学报 .04(1998):54-56. |
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