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基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  刘利娜;  贾宏光;  王淑荣;  吴一辉
caj(70Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/73  |  提交时间：2012/09/25
微全分析系统  双功能温控芯片  Mems  温度控制