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氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-07-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  马剑钢;  刘益春;  徐海洋
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