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离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632
作者:  吴娜
caj(209Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:337/91  |  提交时间:2015/04/17
衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅  
单色仪与成像光谱仪的交互光谱定标 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2585-2591
作者:  曹海霞;  吴娜;  冯树龙;  潘明忠;  张永超;  崔继承
caj(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:464/119  |  提交时间:2015/04/17
单色仪  成像光谱仪  交互光谱定标  定标精度  
超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
作者:  焦庆斌;  巴音贺希格;  谭鑫;  李艳茹;  朱继伟;  吴娜
caj(399Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:358/104  |  提交时间:2015/04/17
光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强