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单晶硅片的低温抛光技术 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 106-111
作者:  韩荣久;  孙恒德;  徐德全;  张云;  王立江
caj(146Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/74  |  提交时间：2013/03/11
低温抛光  抛光模层  抛光液