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深刻蚀平面电磁线圈及制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2006-05-31
Inventors:  张平;  吴一辉;  杨杰伟;  王淑荣;  郭占社
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