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氮化硼坩埚的化学清洗方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-04-12, 公开日期: 2006-04-12
发明人:  李炳辉;  吕有明;  申德振;  刘益春;  梁红伟;  张吉英;  范希武
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