中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	氮化硼坩埚的化学清洗方法 (发明)
	李炳辉; 吕有明; 申德振; 刘益春; 梁红伟; 张吉英; 范希武
	2006-04-12
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2006-04-12
专利类型	发明专利
摘要	本发明公开了一种氮化硼坩埚的化学清洗方法，属于化学清洗领域，涉及一种对氮化硼坩埚的化学清洗方法。用浓硫酸、浓硝酸、氢氟酸配置的混合酸液和６０％ＮａＯＨ溶液将氮化硼坩埚被浸润的表层腐蚀剥离并能保证氮化硼坩埚的完整，能将氮化硼坩埚彻底清洗干净，不残留任何杂质，使其可以多次使用，熔融不同的材料，降低成本。
资助项目	1250347
申请号	3110866
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10933
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李炳辉,吕有明,申德振,等. 氮化硼坩埚的化学清洗方法 (发明)[P]. 2006-04-12.

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CN200400151715900000（218KB）			开放获取	--	浏览 下载

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