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Practical two-dimensional beam steering system using an integrated tunable laser and an optical phased array 期刊论文
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 32, 页码: 9985-9994
作者:  W. C. Ma,S. Tan,K. K. Wang,W. H. Guo,Y. Liu,L. G. Liao,L. G. Zhou,J. Zhou,X. Li,L. Liang and W. Z. Li
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Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
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