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Design and fabrication of micro multi-mirrors based on silicon for micro-spectrometer 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2010, 卷号: 59, 期号: 2, 页码: 907-912
作者:  Wang B.;  Liang Z. Z.;  Kong Y. M.;  Liang J. Q.;  Fu J. G.;  Zheng Y.;  Zhu W. B.;  Lu J. G.;  Wang W. B.;  Pei S.;  Zhang J.
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