中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Active compensation of thermal aberrations in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Chen H.;  Su D.;  Sui Y.;  Zhang M.;  Tian W.;  Yang H.;  Zhang W.
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/143  |  提交时间：2015/04/24