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Maskless lithography illumination system with double freeform surfaces for beam shaping 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  Meng X.;  Liu W.;  Wei Z.;  Liu H.;  Kang Y.;  Feng R.;  Zhang D.
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/106  |  提交时间：2015/04/24