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Fabrication of patterned polymer resists for ion etching by using dewetting 期刊论文
Chemical Journal of Chinese Universities-Chinese, 2002, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 2390-2392
作者:  Lu G.;  Cao Z. L.;  Lu Z. W.;  Li W.;  Yao J. M.;  Zhang G.;  Yang B.;  Shen J. C.
caj(93Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/42  |  提交时间：2012/10/21