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小型高稳定多功能光学反射镜挠性支撑架 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199455.1, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  闫勇;  金光;  安源;  姚劲松;  贾学志;  张雷;  王栋;  谷松
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非接触式扫描反射镜转角测量系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 4, 页码: 850-855
作者:  王洋;  颜昌翔;  胡春晖;  汪逸群;  顾志远;  张达;  张新洁
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光谱成像仪  扫描镜  非接触测量  角度测量  多项式拟合  误差分析  
Pupil non-balance calibration for lithographic lens 期刊论文
Zhongguo Jiguang/中文 Journal of Lasers, 2014, 卷号: 41, 期号: 9
作者:  Rui D.;  Shi Z.;  Yuan W.;  Zhang W.
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