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Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  D. Rui;  P. Li;  L. Dong and J. Zhang
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Interferometric detection technique based on optical coherence and weak signal detection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 2
作者:  Dong, L.;  B. Wang and X. Liu
Adobe PDF(386Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/124  |  提交时间：2018/06/13