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In-situ monitoring of metal depositing in the fabrication of metallic grating 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 606-615
作者:  C.-L.Zhu;  H.Hu;  Q.-B.Jiao;  X.Tan;  Bayanheshig
caj(5217Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：133/31  |  提交时间：2020/08/24
Monitoring,Current density,Deposition,Diffraction efficiency,Diffraction gratings,Fabrication,Metals,Energy dissipation,Photoresistors