中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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2017 [2]

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	Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31 作者: Song, Y.; W. Wang; S. Jiang; Bayanheshig and N. Zhang 浏览 \| Adobe PDF(1461Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：224/62 \| 提交时间：2018/06/13
	Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14 作者: Wang, W.; Y. Song; S. Jiang; M. Z. Pan and Bayanheshing Adobe PDF(1710Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：257/71 \| 提交时间：2018/06/13

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