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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Simulation Research on the Thermal Effects in Dipolar Illuminated Lithography 期刊论文
Journal of the Optical Society of Korea, 2016, 卷号: 20, 期号: 2
作者:  Yao, C. C. and Y. Gong
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