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超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
作者:  焦庆斌;  巴音贺希格;  谭鑫;  李艳茹;  朱继伟;  吴娜
caj(399Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/100  |  提交时间：2015/04/17
光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强