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闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 09, 页码: 1904-1912
作者:  吴娜;  谭鑫;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/95  |  提交时间：2013/03/11
闪耀光栅  全息光栅  衍射效率  刻蚀模拟  离子束刻蚀