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紫外-真空紫外光谱辐射传输特性测试装置 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-31, 公开日期: 2008-12-31
发明人:  王淑荣;  李福田;  王立朋;  林冠宇
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一种转台调平方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-12-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  沈铖武;  王志乾;  于帅北;  刘畅;  李建荣;  赵雁;  刘绍锦;  耿天文;  李冬宁
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一种激光掩膜投影精细加工系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-07-23, 公开日期: 2008-07-23
发明人:  李雨田;  谢冀江;  李维;  卜宪章;  卡丹;  奥列斯卡
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紫外-真空紫外光谱辐射传输特性测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-07-09, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  王淑荣;  李福田;  王立朋;  林冠宇
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