中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种激光掩膜投影精细加工系统 (发明)
	李雨田; 谢冀江; 李维; 卜宪章; 卡丹; 奥列斯卡
	2008-07-23
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2008-07-23
专利类型	发明专利
摘要	一种激光掩膜投影精细加工系统，属于激光加工技术领域中涉及的加工系统。解决的技术问题是：提供一种激光掩膜投影精细加工系统。技术方案：包括激光器、扩束器、扫描器、光吸收器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台。在激光束的光轴上，置有扩束器、扫描器。扫描器中的Ｘ轴反射镜与光轴成４５°角安装，能沿光轴方向移动，在折反的激光束传播方……
资助项目	100404191
申请号	200510119100.7
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10937
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李雨田,谢冀江,李维,等. 一种激光掩膜投影精细加工系统 (发明)[P]. 2008-07-23.

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