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Correction of a digital micromirror device lithography system for fabrication of a pixelated liquid crystal micropolarizer array 期刊论文
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 7, 页码: 12014-12025
作者:  C. Liu;  S. Y. Zhang;  Y. Q. Liu;  M. Y. Lu;  W. H. Cao;  L. Huang;  H. Zhang;  Z. F. Lu;  Q. Q. Mu and H. Liu
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