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Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Liu, Z. W.;  S. Jiang;  X. T. Li;  Y. Song;  W. H. Li and Bayanheshig
Adobe PDF(3322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/85  |  提交时间：2018/06/13