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High precision system modeling of liquid crystal adaptive optics systems 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Zhang, X. Y.;  Z. L. Cao;  H. Y. Xu;  Y. K. Wang;  D. Y. Li;  S. X. Wang;  C. L. Yang;  Q. Q. Mu and L. Xuan
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Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Liu, Z. W.;  S. Jiang;  X. T. Li;  Y. Song;  W. H. Li and Bayanheshig
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