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Edge smoothness enhancement in DMD scanning lithography system based on a wobulation technique 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 18
作者:  Chen, R. H.;  H. Liu;  H. L. Zhang;  W. J. Zhang;  J. Xu;  W. B. Xu and J. H. Li
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Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Liu, Z. W.;  S. Jiang;  X. T. Li;  Y. Song;  W. H. Li and Bayanheshig
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