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Compositional and structural properties of TiO2-xNx thin films deposited by radio-frequency magnetron sputtering 期刊论文
Chinese Physics Letters, 2006, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 682-685
作者:  Jing S. W.;  Liu Y. C.;  Liang Y.;  Ma J. G.;  Lu Y. M.;  Shen D. Z.;  Zhang J. Y.;  Fan X. W.;  Mu R. X.
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