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Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:  Song, Y.;  W. Wang;  S. Jiang;  Bayanheshig and N. Zhang
浏览  |  Adobe PDF(1461Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：229/66  |  提交时间：2018/06/13