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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
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氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
赤道式望远镜寻北方法及测量结果 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2076-2079
作者:  王志臣;  王志;  郭爽;  王国强
caj(734Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：368/128  |  提交时间：2014/03/07
赤道式望远镜  寻北  球面三角形