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薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文) 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 67-72
作者:  付永启;  赵晶丽;  李吉学;  张新;  郑宣明
caj(159Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/74  |  提交时间：2013/03/11
照相制版  薄膜沉积  多级衍射光学元件