薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)

	薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)
	付永启; 赵晶丽; 李吉学; 张新; 郑宣明
	1999-10-30
发表期刊	光学精密工程
期号	05 页码:67-72
关键词	照相制版薄膜沉积多级衍射光学元件
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30995
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	付永启,赵晶丽,李吉学,等. 薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)[J]. 光学精密工程,1999(05):67-72.
APA	付永启,赵晶丽,李吉学,张新,&郑宣明.(1999).薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文).光学精密工程(05),67-72.
MLA	付永启,et al."薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)".光学精密工程 .05(1999):67-72.