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静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 02, 页码: 344-351
作者:  张鹏;  金光;  张元;  钟兴
caj(800Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/104  |  提交时间：2013/03/11
静电拉伸薄膜  薄膜反射镜  成形控制  反演求解