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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/99  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
新型便携式中阶梯光栅光谱仪光学设计与消杂散光研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 129-136
作者:  杨晋;  尹禄;  姚雪峰;  巴音贺希格;  唐玉国;  朱继伟
caj(3093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/118  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  中阶梯光栅光谱仪  优化  杂散光  消杂光设计