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Theoretical Exposure Dose Modeling and Phase Modulation to Pattern a VLS Plane Grating with Variable-Period Scanning Beam Interference Lithography 期刊论文
Applied Sciences-Basel, 2022, 卷号: 12, 期号: 15, 页码: 13
作者:  Y. Song;  N. Zhang;  Y. J. Liu;  L. Zhang and Z. W. Liu
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Inverse Solution Error Analysis and Correction of Beam Steering System Based on Risley Prisms 期刊论文
Applied Sciences-Basel, 2022, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 16
作者:  Y. N. Song;  S. J. Gao;  J. B. Wu;  S. F. Wang and L. Huo
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