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全球面变焦距光刻系统设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 06, 页码: 262-267
作者:  吕博;  刘伟奇;  康玉思;  冯睿;  柳华;  魏忠伦
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/138  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  变焦距光学系统  光刻物镜  球面设计