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193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：513/140  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法  
温度变化对胶粘结透镜面形精度的影响 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 0808002-1
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1028Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：524/202  |  提交时间：2012/05/11