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基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
caj(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/72  |  提交时间：2012/09/25
全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜